北方华创取得半导体清洗设备专利，支撑组件实现晶圆固定
创始人
2025-02-28 16:21:25
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金融界2025年2月28日消息，国家知识产权局信息显示，北京北方华创微电子装备有限公司取得一项名为“半导体清洗设备”的专利，授权公告号CN 222530377 U，申请日期为2024年2月。
专利摘要显示，本实用新型提出了一种半导体清洗设备，包括：工艺槽；干燥槽，扣设在工艺槽上；第一支撑结构，可移动地设置在工艺槽内；第二支撑结构，设置在干燥槽内，第二支撑结构包括至少一对相对设置的支撑组件，第二支撑结构具有支撑状态以及避让状态；在第二支撑结构的支撑状态，相对设置的两个支撑组件支撑在晶圆脱离液体界面的部分上，以使位于部分脱离液体界面位置的晶圆与第一支撑结构和液体界面分离。本实用新型的半导体清洗设备通过第二支撑结构的支撑组件支撑在晶圆脱离液体界面的部分实现晶圆的固定，从而可以使第一支撑结构与处于液体界面下方的晶圆部分脱离，晶圆剩下的部分在后续脱离液体界面过程中不存在与第一支撑结构的接触点。
天眼查资料显示，北京北方华创微电子装备有限公司，成立于2001年，位于北京市，是一家以从事电气机械和器材制造业为主的企业。企业注册资本114153.708311万人民币，实缴资本114153.708311万人民币。通过天眼查大数据分析，北京北方华创微电子装备有限公司共对外投资了8家企业，参与招投标项目1008次，知识产权方面有商标信息38条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可339个。
来源：金融界
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