华卓精科申请扩膜装置及扩膜方法专利，提高整个扩膜流程的效率_科技资讯

华卓精科申请扩膜装置及扩膜方法专利，提高整个扩膜流程的效率

金融界

2024-04-09 18:34:58

金融界2024年4月9日消息，据国家知识产权局公告，北京华卓精科科技股份有限公司申请一项名为“一种扩膜装置及扩膜方法“，公开号CN117855090A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明提供一种扩膜装置及扩膜方法，涉及半导体的技术领域。该扩膜装置，用于对晶圆环的蓝膜进行扩膜，包括基座、扩膜环、升降组件和压环组件，扩膜环和升降组件均固定安装于基座，扩膜环的外径小于晶圆环的内径；压环组件包括压环，压环与升降组件连接，压环的内径大于扩膜环的外径且与扩膜环同轴设置；压环设置有吸盘，吸盘能够吸附晶圆环的环体；升降组件能够驱动压环组件沿扩膜环和压环的轴向上升或下降。该扩膜装置，能够将蓝膜进行扩膜，而且完成扩膜后可以直接通过机械手等装置将晶圆环取走，以便立即开始下一晶圆环的扩膜，所以能够提高整个扩膜流程的效率；此外，该扩膜装置可轻松加工和组装。

来源：金融界

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