原标题：安集科技获得发明专利授权：“一种化学机械抛光液”

证券之星消息，根据企查查数据显示安集科技（688019）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种化学机械抛光液”，专利申请号为CN201911402335.5，授权日为2024年4月12日。

专利摘要：本发明提供一种化学机械抛光液，包括二氧化硅研磨颗粒、腐蚀抑制剂、络合剂、氧化剂、金属表面缺陷改善剂、磷酸酯类表面活性剂和水。本发明的化学机械抛光液可应用于金属铜互连的抛光，对铜的去除速率高，对钽的去除速率低，从而具有较高的铜/钽去除速率选择比，改善抛光后铜线的碟型凹陷和介质层凹陷，同时改善抛光后铜表面粗糙度，减少缺陷。

今年以来安集科技新获得专利授权3个。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了1.01亿元，同比增34.82%。

数据来源：企查查

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