苏州直为精驱申请气浮DD马达专利,精度高保证晶圆平面度要求
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2025-04-22 04:01:00

金融界2025年4月21日消息,国家知识产权局信息显示,苏州直为精驱控制技术有限公司申请一项名为“一种气浮DD马达”的专利,公开号CN119853317A,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本发明公开了一种气浮DD马达,包括底座、气浮定子、气浮转子和旋转驱动组件:底座内设置有通道;气浮定子固定于底座,气浮定子内设置有气道,气道与通道相连通;气浮转子覆盖在气浮定子上且环设于气浮定子外,气浮转子与气浮定子之间形成有上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙,上轴向间隙、径向间隙以及下轴向间隙均与气道相连通;旋转驱动组件连接于气浮转子且可带动气浮转子相对于气浮定子转动。本发明的气浮DD马达的轴向跳动和径向跳动小,使得跳动量能够达到200nm以内甚至是100nm,精度高,保证设置在气浮DD马达上的晶圆的平面度要求。

天眼查资料显示,苏州直为精驱控制技术有限公司,成立于2017年,位于苏州市,是一家以从事批发业为主的企业。企业注册资本833.3333万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州直为精驱控制技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息15条,专利信息47条,此外企业还拥有行政许可5个。

来源:金融界

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