利元亨获得发明专利授权：“一种异质结TCO薄膜的制备方法”
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2025-05-17 17:21:49
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示利元亨（688499）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种异质结TCO薄膜的制备方法”，专利申请号为CN202310343419.6，授权日为2025年5月16日。
专利摘要：本发明涉及异质结电池技术领域，尤其是涉及一种异质结TCO薄膜的制备方法。本发明的一种异质结TCO薄膜的制备方法，包括如下步骤：硅片依次通过至少3个靶组对所述硅片的第一表面进行沉积；硅片依次通过至少3个靶组对所述硅片的第二表面进行沉积；沿所述硅片的运动方向，所述硅片的第一表面与所述靶组的垂直距离依次递减，所述硅片的第二表面与所述靶组的垂直距离依次递减；沿所述硅片的运动方向，对所述硅片的第一表面进行沉积的所述靶组的磁场强度依次递减，对所述硅片的第二表面进行沉积的所述靶组的磁场强度依次递减。本发明的制备方法能够提高溅射速率、减少制备时间，提高制得的TCO薄膜的性能。
今年以来利元亨新获得专利授权94个，较去年同期减少了6.93%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了3.36亿元，同比减34.98%。
数据来源：天眼查APP
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