利元亨获得发明专利授权:“一种异质结TCO薄膜的制备方法”
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2025-05-17 17:21:49

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示利元亨(688499)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种异质结TCO薄膜的制备方法”,专利申请号为CN202310343419.6,授权日为2025年5月16日。

专利摘要:本发明涉及异质结电池技术领域,尤其是涉及一种异质结TCO薄膜的制备方法。本发明的一种异质结TCO薄膜的制备方法,包括如下步骤:硅片依次通过至少3个靶组对所述硅片的第一表面进行沉积;硅片依次通过至少3个靶组对所述硅片的第二表面进行沉积;沿所述硅片的运动方向,所述硅片的第一表面与所述靶组的垂直距离依次递减,所述硅片的第二表面与所述靶组的垂直距离依次递减;沿所述硅片的运动方向,对所述硅片的第一表面进行沉积的所述靶组的磁场强度依次递减,对所述硅片的第二表面进行沉积的所述靶组的磁场强度依次递减。本发明的制备方法能够提高溅射速率、减少制备时间,提高制得的TCO薄膜的性能。

今年以来利元亨新获得专利授权94个,较去年同期减少了6.93%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了3.36亿元,同比减34.98%。

数据来源:天眼查APP

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