南大光电获得发明专利授权:“提升原料气体量效率的方法”
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2025-05-17 22:40:45

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示南大光电(300346)新获得一项发明专利授权,专利名为“提升原料气体量效率的方法”,专利申请号为CN202111420506.4,授权日为2025年5月16日。

专利摘要:本发明涉及提升原料气体量效率的方法,将与储存容器中源接触的载气先进行预加热,使储存容器内热平衡及源的蒸气压稳定;可采用内加热方式或外加热方式对载气先进行预加热,内加热方式,是在储存容器内设置载气预热管,载气预热管的进口与载气进气管连通,出口与储存源的腔室连通,储存容器置于热源中;外加热方式,是在储存容器外设置载气预热管,载气预热管的进口与载气管路连通,出口与插底管连通,插底管插入储存容器内,载气预热管设有加热单元。通过对载气进行有效的预加热,减少常温气体通过原料时对原料造成的温度降低,避免气体载料量不稳定的问题。

今年以来南大光电新获得专利授权2个,较去年同期减少了81.82%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.13亿元,同比增9.55%。

数据来源:天眼查APP

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