五方光电获得发明专利授权：“一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置”
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2025-06-07 06:41:16
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示五方光电（002962）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置”，专利申请号为CN202411145772.4，授权日为2025年6月6日。
专利摘要：本发明涉及晶圆加工技术领域，公开了一种用于晶圆制备的间隔磨圆装置，包括工作台、用于承载待打磨晶圆的上料机构、驱动上料机构升降的顶升机构、用于将多个晶圆夹紧的夹固机构，所述上料机构设置在顶升机构上，所述夹固机构安装在顶升机构的两端；将夹料组件与夹块吸附连接后放进第一缺槽的内部，并将多个晶圆依次放进相邻两个夹块之间，再将装有晶圆的上料机构放在承载板上，将晶圆抬升至与两个夹持件同高的位置，再驱动两个夹持件靠近并抵触最边上的两个夹块，即可将多个晶圆定位在夹块之间，然后再将夹料组件取下，就可进行磨圆处理，此晶圆连接方式，杜绝了晶圆表面粘黏蜡，消除了后期测试时蜡对产品光谱的影响。
今年以来五方光电新获得专利授权6个，较去年同期增加了500%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了7389.8万元，同比增60.12%。
数据来源：天眼查APP
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