来源：芯谋研究

编者按：本文系第十一届张江高科·芯谋研究集成电路产业领袖峰会分论坛上，华芯智能董事长余君山所做的主题演讲。

在半导体设备领域，AMHS（自动物料传送系统）是一个特殊的存在—— 它虽非核心工艺设备，却是超大规模晶圆厂运转的 “生命线”。然而，这条赛道的国产化之路，始终伴随着认知模糊、竞争内卷与技术攻坚的多重考验。

十年前，AMHS 赛道尚处于 “无人问津” 的状态。彼时见投资人，10 个中有 11 个不知 AMHS 为何物，询问英文全称都是常态。如今，赛道热度陡升，涌入者众多，陷入残酷的赤膊战，价格内卷成普遍现象。从全球格局来看，前道AMHS 市场长期被日本企业垄断，国内尚无一家公司能与之抗衡，而赛道的特殊性又决定了国产化离不开甲方支持，若无产业端信任，技术再先进也难落地。

从技术与应用维度看，AMHS 的重要性随晶圆厂规模扩大而凸显。当前，头部 Fab 已配备 1000 台以上天车、30 公里以上轨道，日搬送量近 50 万笔，7 纳米以下先进制程更对其稳定性、效率提出严苛要求。从手动上料到 12 寸 Fab 全自动化天车，AMHS 已成为建厂不可或缺的系统级设备，不仅涉及天车硬件，更需攻克派工算法、物料控制、驱动供电等核心技术。华芯智能自 2016 年孵化，历经多代天车自研，2022 年才切入前道，才实现从硬件到 CPS 系统的全自主可控，其天车 MTBF（平均无故障时间）从 2000 小时提升至 10000 小时，软件可做到月升 30 版且产线无感，足见技术攻坚之艰难。

赛道参与者的战略路径分化明显。多数企业选择“农村包围城市”，从后道、第三代半导体小环线切入；而少数企业如华芯智能则坚持“先进前道、先进 12 寸”，先解决产品力再拓展市场。前者短期易见成效，后者却需更长耐力 —— 毕竟 AMHS 迭代极快，从 8 寸到 12 寸，从中小规模到超大规模晶圆厂，技术门槛持续提升。以该企业为例，其定义的超大规模晶圆厂AMHS 需支持超 500 台天车、15 公里轨道，每小时处理 2 万笔以上搬送，对应月产能 15 万 - 20 万片存储晶圆，这类高要求场景，正是国产 AMHS 突围的关键。

当前赛道最大的矛盾，在于“热闹表象”与“盈利困境”的反差。正如行业人士所言，“看起来很热闹，但是都在亏钱”。一方面，投资人仍在给新公司注资，赛道企业数量激增；另一方面，全球三四十年仅培育出日本两家头部企业，且均历经兼并重组。中国企业虽雨后春笋般涌现，但文化层面的并购整合难度大，因为“宁为鸡头不做凤尾”的心态，加上时间短、积累浅，使得行业难以形成合力。

面对困境，部分企业开始寻求出海破局。今年东南亚、欧洲市场的实践表明全球化未死，产品力与独特价值仍是核心—— 若能为甲方提供高效、稳定的解决方案，技术层面的壁垒可逐步克服。华芯智能今年推进海外业务，正是基于其 12 寸前道的技术积累，以及对自主可控而非单纯国产替代的坚持。例如，其伺服系统虽仍与海外存在差距，但已实现 94% 的国产化率，并未盲目追求 100%，而是以满足产业端的稳定性和效率需求为首要目标。

展望未来，国产AMHS 的突围需依赖三大核心：一是技术深耕，尤其是 GigaFab 所需的数字孪生、大数据运维、多目标平衡算法（兼顾效率、良率、ROI），需持续投入基础研发；二是生态构建，避免单纯价格内卷，通过二次开发、客制化能力为客户创造价值；三是长期主义，行业需要活下来的企业，而非昙花一现的跟风者。正如行业反思：若不花时间在基础科学上突破，急着在应用端摘果子未必是好事。

半导体AMHS 赛道的国产化，不仅是设备替代，更是产业生态的重塑。未来三五年，将是关键窗口期 。能否诞生一家能与国际友商抗衡、在极端情况下顶得上的中国企业，不仅取决于技术与资金，更取决于行业能否摆脱短期焦虑，回归长期价值，在自主可控的道路上稳步前行。

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