长川科技获得实用新型专利授权:“对准装置”
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2024-07-03 19:01:55

证券之星消息,根据企查查数据显示长川科技(300604)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“对准装置”,专利申请号为CN202322859702.2,授权日为2024年7月2日。

专利摘要:本实用新型涉及一种对准装置,其包括基座、软质吸附件及柔性膜,其中,基座设有多个第一气路;软质吸附件设置于基座,软质吸附件设有多个间隔布置的吸附孔,各个吸附孔与各个第一气路一一对应连通;柔性膜设置于软质吸附件背离基座的一侧面,并设有与各个吸附孔一一对应连通的多个通孔。上述对准装置中,基座的第一气路、吸附孔及通孔相贯通形成了负压气路,可通过向负压气路通入负压气体以吸附晶圆,使得晶圆能够稳定可靠地吸附固定于软质吸附件;软质吸附件能够起到缓冲作用,且柔性膜的表面柔软,能够避免在晶圆与对准装置接触时对晶圆的背面产生划痕,能够对晶圆起到较好的保护作用。

今年以来长川科技新获得专利授权116个,较去年同期增加了2.65%。结合公司2023年年报财务数据,2023年公司在研发方面投入了7.15亿元,同比增10.87%。

数据来源:企查查

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