长川科技取得对准装置专利，能够对晶圆起到较好的保护作用_科技资讯

长川科技取得对准装置专利，能够对晶圆起到较好的保护作用

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2024-07-05 05:40:24

金融界2024年7月2日消息，天眼查知识产权信息显示，杭州长川科技股份有限公司取得一项名为“对准装置“，授权公告号CN221262334U，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本实用新型涉及一种对准装置，其包括基座、软质吸附件及柔性膜，其中，基座设有多个第一气路；软质吸附件设置于基座，软质吸附件设有多个间隔布置的吸附孔，各个吸附孔与各个第一气路一一对应连通；柔性膜设置于软质吸附件背离基座的一侧面，并设有与各个吸附孔一一对应连通的多个通孔。上述对准装置中，基座的第一气路、吸附孔及通孔相贯通形成了负压气路，可通过向负压气路通入负压气体以吸附晶圆，使得晶圆能够稳定可靠地吸附固定于软质吸附件；软质吸附件能够起到缓冲作用，且柔性膜的表面柔软，能够避免在晶圆与对准装置接触时对晶圆的背面产生划痕，能够对晶圆起到较好的保护作用。

来源：金融界

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