国家知识产权局信息显示，淮北翌光科技有限公司取得一项名为“一种干法刻蚀装置”的专利，授权公告号CN223798645U，申请日期为2025年1月。

专利摘要显示，本实用新型实施例公开了一种干法刻蚀装置，包括：腔体；气体喷嘴组，位于腔体的内部顶面，用于向反应腔内通入气体；第一电极和第二电极，分别位于腔体的顶部和底部；第一电极和第二电极用于将通入的气体等离子化并产生等离子体；其中，气体喷嘴组包括主喷嘴和围绕主喷嘴设置的至少一圈的副喷嘴；主喷嘴位于腔体的内部顶面的中心区域，副喷嘴位于腔体的内部顶面的边缘区域；主喷嘴的喷气方向为腔体的内部顶面指向腔体的内部底面的方向，副喷嘴的喷气方向与主喷嘴的喷气方向的夹角大于0°且小于等于90°。本实用新型提供的技术方案，提高了对待刻蚀结构的中心区域和边缘区域刻蚀的均匀性。

天眼查资料显示，淮北翌光科技有限公司，成立于2022年，位于淮北市，是一家以从事化学纤维制造业为主的企业。企业注册资本43000万人民币。通过天眼查大数据分析，淮北翌光科技有限公司参与招投标项目36次，专利信息74条，此外企业还拥有行政许可14个。

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