中欣晶圆申请改善硅片BOW值的切割方法专利,有效降低BOW
创始人
2026-01-15 11:40:53

国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“改善硅片BOW值的切割方法”的专利,公开号CN121316125A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种改善硅片BOW值的切割方法,属于半导体材料技术领域。包括:在多线切割过程中,根据硅棒切割的不同阶段动态控制进给速率及砂浆粘度;同时实时监测线弓状态,根据线弓状态动态调整主辊转速及砂浆喷射参数。本发明根据硅棒切割的不同阶段动态控制进给速率及砂浆粘度,能够减少残余应力的产生,进而减少BOW。同时实时监测线弓状态,及时动态调整主辊转速及砂浆喷射参数,使线弓始终处于预设定的目标范围内,进而使线弓始终处于稳定的状态,进一步减少BOW。从而能够系统性地减少切割过程中不均匀应力的产生和积累,从而有效降低BOW,且片间一致性极大提升,从而满足最先进半导体制造工艺对硅片平整度的要求。

天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息364条,此外企业还拥有行政许可25个。

声明:市场有风险,投资需谨慎。本文为AI基于第三方数据生成,仅供参考,不构成个人投资建议。

来源:市场资讯

相关内容

热门资讯

曝一加入局掌机市场,8英寸、天... IT之家 4 月 7 日消息,在手机市场竞争激烈、内存大涨价的背景下,博主 @熊猫很禿然 今日爆料称...
卓兆点胶:公司今年已初步进入苹... 来源:滚动播报 今天早盘,折叠屏概念大涨,大富科技、福蓉科技等多股涨停。卓兆点胶大涨,盘中一度涨近1...
正规谷歌SEO优化公司怎么选?... 2026年,谷歌占据全球搜索引擎市场份额超92%,是海外B2B、B2C采购决策的核心入口——73.6...
卢伟冰确认:REDMI K90... 快科技4月7日消息,REDMI K90 Max官宣本月发布,这是K系列首款Max机型。 值得注意的是...
Anthropic宣布年化营收... 环球网 4月7日消息,据The Economic Times报道,人工智能初创公司Anthropic...