中欣晶圆申请改善硅片BOW值的切割方法专利,有效降低BOW
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2026-01-15 11:40:53

国家知识产权局信息显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司申请一项名为“改善硅片BOW值的切割方法”的专利,公开号CN121316125A,申请日期为2025年10月。

专利摘要显示,本发明提供一种改善硅片BOW值的切割方法,属于半导体材料技术领域。包括:在多线切割过程中,根据硅棒切割的不同阶段动态控制进给速率及砂浆粘度;同时实时监测线弓状态,根据线弓状态动态调整主辊转速及砂浆喷射参数。本发明根据硅棒切割的不同阶段动态控制进给速率及砂浆粘度,能够减少残余应力的产生,进而减少BOW。同时实时监测线弓状态,及时动态调整主辊转速及砂浆喷射参数,使线弓始终处于预设定的目标范围内,进而使线弓始终处于稳定的状态,进一步减少BOW。从而能够系统性地减少切割过程中不均匀应力的产生和积累,从而有效降低BOW,且片间一致性极大提升,从而满足最先进半导体制造工艺对硅片平整度的要求。

天眼查资料显示,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司,成立于2015年,位于银川市,是一家以从事非金属矿物制品业为主的企业。企业注册资本150000万人民币。通过天眼查大数据分析,宁夏中欣晶圆半导体科技有限公司参与招投标项目17次,专利信息364条,此外企业还拥有行政许可25个。

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来源:市场资讯

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