荣芯半导体取得显影装置专利,提高制成的稳定性与可控性
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2026-02-14 16:01:52

国家知识产权局信息显示,荣芯半导体(宁波)有限公司取得一项名为“显影装置”的专利,授权公告号CN223911164U,申请日期为2024年12月。

专利摘要显示,本实用新型提供了一种显影装置,包括吸附组件和振动部,所述吸附组件用于吸附并承载晶圆,所述振动部与所述吸附组件连接,所述振动部用于驱动所述晶圆振动,以使所述晶圆上的显影液在所述晶圆表面扩散。该显影装置可通过振动部使晶圆产生震动,加速显影液在晶圆表面的扩散和反应,防止通过电机急速旋转辅助显影液扩散造成电机的损伤,满足显影工艺需求,提高制成的稳定性与可控性。

天眼查资料显示,荣芯半导体(宁波)有限公司,成立于2021年,位于宁波市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本41452.2292万人民币。通过天眼查大数据分析,荣芯半导体(宁波)有限公司共对外投资了6家企业,财产线索方面有商标信息15条,专利信息97条。

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来源:市场资讯

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