盛美上海：在PECVD方面，公司持续推进自主研发_科技资讯

盛美上海：在PECVD方面，公司持续推进自主研发

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2026-03-14 01:46:27

证券日报网3月13日讯，盛美上海在接受调研者提问时表示，在PECVD方面，公司持续推进自主研发，公司设计的一个腔体三个卡盘结构，具备较高灵活性，可适配多种工艺需求。公司推出的Ultra PmaxTM PECVD设备，配置了自主知识产权的腔体、气体分配装置和卡盘设计，能够提供更好的薄膜均匀性、更小的薄膜应力和更少的颗粒特性。该设备的推出，标志着公司在前道半导体应用中进一步扩展到全新的干法工艺领域。2025年Ultra PmaxTM PECVD设备在多工艺成膜上实现突破，在公司临港测试研发线上成功完成demo测试。公司对PECVD设备的差异化技术构架及未来市场前景非常有信心，后续也将持续加大研发投入，将PECVD设备推向更广阔的国内外市场。

（编辑楚丽君）

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