芯碁微装申请光刻机控制方法专利，提高光刻机的生产效率_科技资讯

芯碁微装申请光刻机控制方法专利，提高光刻机的生产效率

金融界

2024-02-27 04:40:41

金融界2024年2月26日消息，据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“光刻机的控制方法、光刻机和计算机可读存储介质“，公开号CN117590710A，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种光刻机的控制方法、光刻机和计算机可读存储介质，其中，光刻机的控制方法包括：获取所有对位标记点的标记值；根据所述所有对位标记点的标记值确定所有对位标记点的分布区域；根据所述分布区域进行对位路径优化，以确定目标对位路径；根据所述目标对位路径控制光刻机平台移动至目标标记点。本发明的方法可以减少标记点的对位路径距离，提高了标记点对位的速度，从而提高了光刻机的生产效率。

来源：金融界

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