长鑫存储申请光罩及制备光罩的方法专利，提高光罩制备的精确度
金融界
2024-04-06 08:56:46
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金融界2024年4月5日消息，据国家知识产权局公告，长鑫存储技术有限公司申请一项名为“光罩及制备光罩的方法“，公开号CN117826523A，申请日期为2022年9月。
专利摘要显示，本公开实施例提供一种光罩及制备光罩的方法，其中，所述制备光罩的方法包括：获取当前光罩中位于非曝光区域的测试图形集中每一测试图形的关键尺寸的量测值以及关键尺寸的设计值；其中，所述当前光罩是基于第一设计数据文件制备得到的；对比每一所述测试图形的关键尺寸的量测值和关键尺寸的设计值，得到第一对比结果；基于所述第一对比结果，确定所述第一设计数据文件中对应曝光区域的目标图形集以及所述目标图形集中每一目标图形的关键尺寸的设计值对应的调整值；基于每一所述目标图形的关键尺寸的设计值对应的调整值，对所述第一设计数据文件进行更新，得到第二设计数据文件；基于所述第二设计数据文件，制备得到目标光罩。
来源：金融界
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