江丰电子获得发明专利授权:“一种靶材的校平方法”
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2025-04-23 06:21:06

证券之星消息,根据天眼查APP数据显示江丰电子(300666)新获得一项发明专利授权,专利名为“一种靶材的校平方法”,专利申请号为CN202310497276.4,授权日为2025年4月22日。

专利摘要:本发明提供了一种靶材的校平方法,所述校平方法包括如下步骤:15℃至30℃的条件下对靶材进行至少4次校平处理;所述至少4次校平处理时,后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域;所述至少4次校平处理时,校平区域的面积范围为靶材溅射面的25%至55%。本发明提供的校平方法在15℃至30℃的条件下进行,能够避免热校带来的脱焊风险,而且,本发明提供的校平方法的工艺简单,通过至少4次校平处理可将靶材的平面度控制在1mm以内,有利于工业化推广应用。

今年以来江丰电子新获得专利授权21个,较去年同期减少了27.59%。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研发方面投入了2.17亿元,同比增26.5%。

数据来源:天眼查APP

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