江丰电子获得发明专利授权：“一种靶材的校平方法”
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2025-04-23 06:21:06
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证券之星消息，根据天眼查APP数据显示江丰电子（300666）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种靶材的校平方法”，专利申请号为CN202310497276.4，授权日为2025年4月22日。
专利摘要：本发明提供了一种靶材的校平方法，所述校平方法包括如下步骤：15℃至30℃的条件下对靶材进行至少4次校平处理；所述至少4次校平处理时，后一次校平处理的校平区域不小于前一次校平处理的校平区域；所述至少4次校平处理时，校平区域的面积范围为靶材溅射面的25％至55％。本发明提供的校平方法在15℃至30℃的条件下进行，能够避免热校带来的脱焊风险，而且，本发明提供的校平方法的工艺简单，通过至少4次校平处理可将靶材的平面度控制在1mm以内，有利于工业化推广应用。
今年以来江丰电子新获得专利授权21个，较去年同期减少了27.59%。结合公司2024年年报财务数据，2024年公司在研发方面投入了2.17亿元，同比增26.5%。
数据来源：天眼查APP
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