铌酸锂光子芯片产线在江北新区启动
本报讯 （向婧 许雯斐） 4月11日，南智先进光电集成技术研究院铌酸锂光子芯片产线启动仪式在江北新区举行。这是国内首条“薄膜铌酸锂+X”异质集成光子芯片产线，预示着国内薄膜铌酸锂光子芯片产业化取得重要进展，有望进一步巩固和彰显江北新区光电产业发展的区域优势。
南京江北新区党工委委员、管委会副主任陈文斌表示，近年来，新区抢抓微电子和光电子芯片技术发展机遇，持续推动集成电路产业高质量发展，集成电路产业营收占全市比重1/4。此次启动的铌酸锂光子芯片产线，将进一步推动光子芯片领域创新链与产业链深度融合。下一步，新区将继续以“四大行动”为抓手，不断为项目建设、投产、运营创造最佳环境。
据了解，本次启用的产线具备了光刻、刻蚀、镀膜、研抛、湿法等系列核心技术工艺，配备3.5亿元规模设备、5000平方米超净间，覆盖了整个产业链的核心工艺，月产能一千片晶圆。
作为南智先进光电集成技术研究院的投资方和共建单位，江北新区科投集团从高端设备采购、平台建设运营、基金投资赋能、海外人才引进和重大项目申报等方面为铌酸锂光子芯片产线提供重要支持。
活动现场，中国科学院院士、江苏省光电技术创新中心主任祝世宁，南京江北新区党工委委员、管委会副主任陈文斌，南京市科学技术局副局长陈为生，长三角国家技术创新中心管委会委员、上海长三角创新院副院长石功奇，共同启动国内首条“薄膜铌酸锂+X”异质集成光子芯片产线。南智光电平台与6家业务伙伴签订研产贯通合作协议。
今年初，南智光电启动平台二期建设，目前二期平台已经具备一定量产能力，月前才刚刚下线一批8英寸生物基因检测芯片，相关性能指标全部符合客户定制要求。未来，以铌酸锂光子芯片产线为基础，南智光电将能够面向国内外光电企业提供芯片研发及流片支持。
江北新区科投集团相关负责人表示，集团将充分利用专业人才优势、基金管理能力以及资本杠杆作用，实现“平台”与“资本”双促进，“项目孵化”与“招商引资”相补充，“国资增值”与“产业扶持”再循环，着力打通光电领域“从研到产”的通道，助力新区光电产业发展。