甄觉科技申请晶圆凹槽缺陷检测方法及系统专利，提高检测精度_科技资讯

甄觉科技申请晶圆凹槽缺陷检测方法及系统专利，提高检测精度

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2025-06-04 18:22:07

金融界2025年6月4日消息，国家知识产权局信息显示，甄觉科技（上海）有限公司申请一项名为“晶圆的凹槽缺陷检测方法及系统”的专利，公开号CN120088235A，申请日期为2025年03月。

专利摘要显示，本发明提供了一种晶圆的凹槽缺陷检测方法及系统，包括：获取标准晶圆凹槽轮廓数据；获取待检测晶圆凹槽轮廓数据；使用优化算法对待检测凹槽轮廓和标准凹槽轮廓进行配准；计算待检测凹槽轮廓和标准凹槽轮廓的点间距离并进行缺陷识别。本发明通过优化算法配准，有效消除测量误差，配合精密计算对凹槽缺陷判定精准至微米级，满足高端芯片制造要求，提高检测精度。

天眼查资料显示，甄觉科技（上海）有限公司，成立于2024年，位于上海市，是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本526.3158万人民币。通过天眼查大数据分析，甄觉科技（上海）有限公司共对外投资了1家企业，财产线索方面有商标信息2条，专利信息11条。

来源：金融界

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