华虹半导体申请闪存器件的制备方法专利，提高了器件的良率
金融界2025年8月1日消息，国家知识产权局信息显示，华虹半导体制造（无锡）有限公司、华虹半导体（无锡）有限公司、上海华虹宏力半导体制造有限公司申请一项名为“闪存器件的制备方法”的专利，公开号CN120417385A，申请日期为2025年04月。
专利摘要显示，本申请提供一种闪存器件的制备方法，通过在形成第一外侧墙材料层之后，以及在形成第二外侧墙材料层和第三外侧墙材料层之前，采用第一湿法清洗工艺去除外围逻辑区的衬底表面的栅氧化层，使得在分别形成源极和漏极之后以及在形成金属硅化物阻挡层之前不需要进行采用HF湿法清洗去除栅极多晶硅层两侧多余的栅氧化层的步骤，避免了存储区的闪存单元的外侧墙结构中第三外侧墙材料层底部的第二外侧墙材料层被HF误腐蚀形成侧掏的情况，提高了器件的良率，改善了器件的数据保持能力等电性能。
天眼查资料显示，华虹半导体制造（无锡）有限公司，成立于2022年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本402000万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体制造（无锡）有限公司参与招投标项目373次，专利信息46条，此外企业还拥有行政许可226个。
华虹半导体（无锡）有限公司，成立于2017年，位于无锡市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本253685.180069万美元。通过天眼查大数据分析，华虹半导体（无锡）有限公司共对外投资了1家企业，参与招投标项目2934次，专利信息1726条，此外企业还拥有行政许可117个。
上海华虹宏力半导体制造有限公司，成立于2013年，位于上海市，是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本2046092.7759万人民币。通过天眼查大数据分析，上海华虹宏力半导体制造有限公司共对外投资了7家企业，参与招投标项目911次，财产线索方面有商标信息39条，专利信息5000条，此外企业还拥有行政许可429个。
来源：金融界
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