光峰科技取得光栅干涉曝光系统专利，提升全息光栅干涉曝光质量_科技资讯

光峰科技取得光栅干涉曝光系统专利，提升全息光栅干涉曝光质量

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2024-07-07 12:40:56

金融界2024年7月7日消息，天眼查知识产权信息显示，深圳光峰科技股份有限公司取得一项名为“光栅干涉曝光系统“，授权公告号CN221261503U，申请日期为2023年8月。

专利摘要显示，本申请公开了一种光栅干涉曝光系统，涉及全息光栅制造领域，包括发光装置、相位探测装置和至少两组相位调制组件，发光装置用于发出两束相干光束，两束相干光束经过不同路径传输后发生干涉形成干涉条纹，相位探测装置用于采集干涉条纹中对应于每种波长的光线形成的干涉条纹，并确定每种波长光线对应的相位漂移量，相位调制组件设于发光装置中且与相位探测装置连接，且每组相位调制组件对应获取一种波长的光线的相位漂移量，并基于相位漂移量调制对应光线的波长以补偿相位漂移。因此，光栅干涉曝光系统能够对每种波长的光线的相位进行单独调制，实现了多波长干涉曝光系统在曝光过程中每种波长的光线的相位恒定，提升全息光栅干涉曝光质量。

来源：金融界

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