芯碁微装获得实用新型专利授权:“一种被动元件直写曝光设备”
证券之星
2024-01-27 18:53:27

原标题:芯碁微装获得实用新型专利授权:“一种被动元件直写曝光设备”

证券之星消息,根据企查查数据显示芯碁微装(688630)新获得一项实用新型专利授权,专利名为“一种被动元件直写曝光设备”,专利申请号为CN202321822604.5,授权日为2024年1月26日。

专利摘要:本实用新型涉及直写光刻技术领域,具体公开了一种被动元件直写曝光设备,包括基座、输送装置、拍板预对位装置以及中心曝光区。本实用新型通过采用具有双机构取放片功能的输送装置,在待曝光料片进行曝光时,输送装置同时进行下一片待曝光料片的拍板预对位等准备工作;曝光结束后,输送装置把已曝光料片取出,接着可立即把下一片待曝光料片放入曝光区,能够实现曝光动作的无缝对接,极大提高了生产效率,解决了现有被动元件生产设备大多采用传统曝光机,需要借助掩膜版完成对图形的曝光,存在无法实现曝光动作的无缝对接,影响了生产效率的问题,具有广阔的市场前景。

今年以来芯碁微装新获得专利授权2个,较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据,2023上半年公司在研发方面投入了3885.2万元,同比减7.98%。

数据来源:企查查

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