芯碁微装获得实用新型专利授权：“一种被动元件直写曝光设备”
证券之星
2024-01-27 18:53:27
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原标题：芯碁微装获得实用新型专利授权：“一种被动元件直写曝光设备”

证券之星消息，根据企查查数据显示芯碁微装（688630）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种被动元件直写曝光设备”，专利申请号为CN202321822604.5，授权日为2024年1月26日。

专利摘要：本实用新型涉及直写光刻技术领域，具体公开了一种被动元件直写曝光设备，包括基座、输送装置、拍板预对位装置以及中心曝光区。本实用新型通过采用具有双机构取放片功能的输送装置，在待曝光料片进行曝光时，输送装置同时进行下一片待曝光料片的拍板预对位等准备工作；曝光结束后，输送装置把已曝光料片取出，接着可立即把下一片待曝光料片放入曝光区，能够实现曝光动作的无缝对接，极大提高了生产效率，解决了现有被动元件生产设备大多采用传统曝光机，需要借助掩膜版完成对图形的曝光，存在无法实现曝光动作的无缝对接，影响了生产效率的问题，具有广阔的市场前景。

今年以来芯碁微装新获得专利授权2个，较去年同期增加了100%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3885.2万元，同比减7.98%。

数据来源：企查查

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