内容来源:厦门日报、厦门火炬高新区
近日
厦企瀚天天成
依托研发团队的自主技术攻坚
成功开发出全球首款
12英寸高质量碳化硅外延晶片
这一突破
不仅能显著提高
下游功率器件的生产效率
更将大幅降低
碳化硅芯片的单位制造成本
为碳化硅产业规模化、低成本应用
奠定关键基础
第三代半导体碳化硅比第一代硅半导体拥有更优的高频、高压、高温能力,能够实现系统更低的能耗、更小的体积和重量,被广泛应用于新能源汽车、光伏发电、AI电源、轨道交通、智能电网及航空航天等领域。
相较于当前主流的150mm(6英寸)碳化硅外延晶片,以及尚处产业化推进阶段的200mm(8英寸)晶片,300mm(12英寸)晶片凭借直径的显著扩容,在相同生产工序下,单片可承载的芯片(器件)数量实现大幅提升——较6英寸晶片提升至4.4倍,较8英寸晶片提升至2.3倍。
瀚天天成生产车间。
目前,瀚天天成已启动12英寸碳化硅外延晶片的批量供应筹备工作,产品在关键性能指标上表现优异:外延层厚度不均匀性控制在3%以内,掺杂浓度不均匀性≤8%,2mm×2mm芯片良率大于96%,可充分满足下游功率器件领域的高可靠性应用需求。
据悉,瀚天天成是中国首家实现商业化3英寸、4英寸、6英寸碳化硅外延晶片批量供应的生产商。根据灼识咨询研报,公司2023年已成为全球最大规模的碳化硅外延晶片供应商,2024年全球市场份额超31%。
瀚天天成也是厦门第三代半导体产业细分领域的领头羊。近年来,厦门市以火炬高新区、海沧集成电路产业园等为核心载体,构建起覆盖设计、制造、封测、设备材料的全链条产业布局。
目前,厦门市已形成龙头引领、协同发展的产业集群,士兰微8英寸碳化硅功率器件产线加速建设,通富微电先进封测项目即将投产,与瀚天天成形成上下游联动,构建起国产化协同的产业生态。