长鑫芯瑞申请半导体结构制备方法专利,提高了电容的性能
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2026-01-05 08:41:23

国家知识产权局信息显示,长鑫芯瑞存储技术(北京)有限公司申请一项名为“一种半导体结构的制备方法、半导体结构和存储器”的专利,公开号CN121262826A,申请日期为2025年12月。

专利摘要显示,本公开实施例提供了一种半导体结构的制备方法、半导体结构和存储器,涉及半导体技术领域,该方法包括:提供衬底;在衬底上方形成初始结构,初始结构包括绝缘层、硅层、沟槽、多个凹槽和第一电极;第一电极覆盖沟槽和多个凹槽的内壁;在第一电极的表面形成保护层;去除位于沟槽的内壁上的保护层和位于沟槽的内壁上的第一电极;去除位于凹槽的内壁上的保护层和部分靠近沟槽的绝缘层,暴露出凹槽表面的第一电极;在第一电极暴露的表面,依次形成覆盖第一电极的电介质层,以及,覆盖电介质层的第二电极,从而避免了直接干法刻蚀导致的下电极短路和下电极损坏的问题,在完成下电极隔断的同时,保证了下电极的完整性,提高了电容的性能。

天眼查资料显示,长鑫芯瑞存储技术(北京)有限公司,成立于2024年,位于北京市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本20000万人民币。通过天眼查大数据分析,长鑫芯瑞存储技术(北京)有限公司专利信息20条,此外企业还拥有行政许可1个。

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来源:市场资讯

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