国家知识产权局信息显示，拓荆科技（上海）有限公司申请一项名为“辅助调平装置、工艺腔室和喷淋板的调平方法”的专利，公开号CN121556005A，申请日期为2025年12月。

专利摘要显示，本发明公开了一种辅助调平装置、工艺腔室和喷淋板的调平方法。该辅助调平装置包括：波纹管，可活动地轴向抵接腔体与上平板之间，其中，上平板的下层连接喷淋板；测距工装，放置于调平后的加热盘上，用于获取加热盘表面到其上方的喷淋板之间的多个初始距离值；第一调节螺丝，轴向旋入上平板，通过调节第一调节螺丝的旋转圈数，局部调整上平板与腔体的间距；以及处理器，被配置为：根据多个初始距离值之差，确定第一调节螺丝的目标旋转圈数，以基于目标旋转圈数将喷淋板与加热盘调至相对平行。本发明不仅结构简单，操作便捷，在提高喷淋板和加热盘之间的平行度的同时，还能确保腔内的真空度，不仅提升工艺效果的均匀性，还能整体性提高产品良率。

天眼查资料显示，拓荆科技（上海）有限公司，成立于2020年，位于上海市，是一家以从事零售业为主的企业。企业注册资本143253.79万人民币。通过天眼查大数据分析，拓荆科技（上海）有限公司参与招投标项目37次，专利信息371条，此外企业还拥有行政许可40个。

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来源：市场资讯