晶合集成获得实用新型专利授权：“一种静电卡盘边缘清洁装置”
证券之星
2024-03-01 12:56:06
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证券之星消息，根据企查查数据显示晶合集成（688249）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“一种静电卡盘边缘清洁装置”，专利申请号为CN202321726881.6，授权日为2024年3月1日。
专利摘要：本申请提供一种静电卡盘边缘清洁装置，所述静电卡盘至少包括用于承载晶圆的载物台以及设置于所述载物台外侧的环状台阶结构，所述边缘清洁装置包括：载体，其被配置为在进行清洁时放置于所述载物台上；静电吸附组件，其设置于所述载体背离所述载物台的一侧，通过所述静电吸附组件靠近所述环状台阶结构，以吸附所述环状台阶结构上堆积的生成物。通过在载体上设置静电吸附组件，只需要将载体置于静电卡盘的载物台上，就可以通过静电吸附组件吸附环状台阶结构的台阶上堆积的脏污，且清洁过程中不需要人工开腔，可利用与晶圆放入载物台相同的方式，将载体放入载物台完成清洁过程，减少人工干预，不影响晶圆正常生产工艺流程。
今年以来晶合集成新获得专利授权36个，较去年同期增加了38.46%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了5.02亿元，同比增27.46%。
数据来源：企查查
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