盛美上海获得发明专利授权：“去除阻挡层的方法”
创始人
2025-09-14 19:21:27
0次
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“去除阻挡层的方法”，专利申请号为CN202010519561.8，授权日为2025年9月12日。
专利摘要：本发明揭示了去除硅片上金属互连的阻挡层的方法，去除单层金属钌阻挡层，包括：氧化步骤，使用电化学阳极氧化工艺将单层的金属钌阻挡层氧化成钌氧化物层；氧化层刻蚀步骤，用刻蚀液对钌氧化物层进行刻蚀，去除钌氧化物层。本发明还提出去除硅片上金属互连的阻挡层的方法，用于10nm及以下的工艺节点的结构中，结构包括衬底、介质层、阻挡层和金属层，介质层沉积在衬底上，介质层上形成凹进区，阻挡层沉积在介质层上，金属层沉积在阻挡层上，金属层是铜层，阻挡层是单层金属钌层，该方法包括：减薄步骤，对金属层进行减薄；去除步骤，去除金属层；氧化步骤，对阻挡层进行氧化，氧化步骤使用电化学阳极氧化工艺；氧化层刻蚀步骤，刻蚀氧化后的阻挡层。
今年以来盛美上海新获得专利授权18个，较去年同期增加了350%。结合公司2025年中报财务数据，今年上半年公司在研发方面投入了4.16亿元，同比增20.17%。
通过天眼查大数据分析，盛美半导体设备（上海）股份有限公司共对外投资了17家企业，参与招投标项目168次；财产线索方面有商标信息34条，专利信息594条；此外企业还拥有行政许可31个。
数据来源：天眼查APP
以上内容为证券之星据公开信息整理，由AI算法生成（网信算备310104345710301240019号），不构成投资建议。
相关内容
热门资讯
宁波银行以有温度的服务给出答案
来源：市场资讯 （来源：辰珵） 在众多银行中,“哪个银行服务比较好”一直是客户关注的焦点。宁波银行凭...
抢滩“零碳”未来！常州硬核科技...
9月13日，以“新能源 新动力 新常州”为主题的2025国际新能源博览会在常州开幕。这场为期三天的绿...
2025全球工业互联网大会：A...
【2025全球工业互联网大会展示人工智能新成果，推动跨领域合作与智能变革】近日，2025全球工业互联...
捷顺科技获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示捷顺科技（002609）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
每周研选｜AI驱动云计算、PC...
中邮证券：AI时代重估云计算价值，把握AI基础设施投资机遇 中长期看，算力基础设施供需缺口持续扩大，...
海容冷链获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示海容冷链（603187）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
服贸会拓展服务贸易新空间
本文转自【人民日报】； 北京首钢园，特色工业遗迹与国际现代展会深度融合，2025年中国国际服务贸易交...
中美太空竞争白热化：美对华设限...
近日，美国国家航空航天局（NASA）出台新规，全面禁止持有美国签证的中国公民参与其任何项目，包括禁止...
盛美上海获得发明专利授权：“去...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示盛美上海（688082）新获得一项发明专利授权，专利名为“去除...
Redmi K90系列定档10...
听说Redmi又要搞大动作？K90系列预计10月正式亮相，这次可不是简单升级，而是要从续航、性能、影...
2025年拍照神机集合：这三款...
宝子们，是不是总觉得自己拍的照片不够出圈？精心摆拍半小时，发朋友圈却无人问津；看到别人随手一拍就是大...
全市四分之一！泰达再添两家国家...
近日，工业和信息化部公示了2025年度卓越级智能工厂获评名单，天津经开区企业奥的斯电梯（中国）有限公...
中国石油获得实用新型专利授权：...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中国石油（601857）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“...
中核科技获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示中核科技（000777）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
TCL科技公告：拟在广州投建一...
封面新闻记者 雷强 9月12日，TCL科技集团股份有限公司发布公告，公司、TCL华星与广州市人民政府...
iPhone 17 Air中国...
9月10日，苹果秋季发布会如期举行，iPhone 17系列四款新机亮相。不过，iPhone Air因...
"深蓝智库康养产业研...
北京商报讯（记者 王寅浩 实习记者 宋雨盈）9月14日，中国国际服务贸易交易会医疗健康板块的重要活动...
阿波罗公布“一种大流量立式离心...
天眼查APP显示，近日，上海阿波罗机械股份有限公司申请的“一种大流量立式离心泵水介质试验回路装置”专...
格力电器获得发明专利授权：“一...
证券之星消息，根据天眼查APP数据显示格力电器（000651）新获得一项发明专利授权，专利名为“一种...
广东旅博会上机器人秀技能
本文转自【新华社】 9月12日至14日，2025广东国际旅游产业博览会在广州举行。本届旅博会设置国际...