在科技发展的长河中,芯片制造技术始终处于不断演进的前沿。从早期晶体管的诞生到如今先进制程工艺的应用,每一次突破都推动着信息技术的飞跃。而当下,原子操控技术正崭露头角,有望成为人类生产芯片的终极技术,彻底重塑芯片制造的格局。
回溯芯片制造的历程,传统光刻技术从微米级精度逐步迈向纳米级,如今已逼近物理极限。例如,当制程工艺推进到 5 纳米乃至更先进节点时,电子隧穿等量子效应开始干扰芯片性能,使得进一步缩小晶体管尺寸变得异常艰难。同时,制造设备的成本也呈指数级增长,极紫外光刻(EUV)设备造价高达数亿美元,且技术掌握在少数企业手中,严重限制了行业的发展速度与创新空间。在这样的背景下,寻找一种全新的、能够突破现有瓶颈的芯片制造技术迫在眉睫。
原子操控技术的出现,为芯片制造带来了前所未有的机遇。原子作为物质的基本构成单元,其尺度在 0.1 - 0.5 纳米之间,通过精准操控原子来构建芯片结构,有望实现超越当前极限的精度与性能。早在 1989 年,IBM 的科研人员便利用扫描隧道显微镜(STM)操作 35 个氘原子在镍表面写出了 “IBM” 字样,这一开创性成果标志着人类对原子操控的初步探索。随后,1993 年中国科学家也成功操纵硅原子写出 “中国” 二字,进一步证明了原子操控的可行性。虽然早期原子操控多为演示性实验,但随着技术的不断发展,其在芯片制造领域的应用潜力逐渐显现。
目前,在原子操控助力芯片制造的研究方面,已有诸多令人瞩目的进展。例如,科学家们在二维材料领域取得了重大突破。二维材料如石墨烯、二硫化钼等,具有独特的单分子层晶体结构,在 1 纳米条件下仍能保持良好的电学性能,被视为延续摩尔定律的关键材料体系。通过原子级别的精准操控,能够实现二维材料的缺陷调控、应力调控、电荷调控以及转角堆叠调控等。复旦大学团队在这方面深入研究,实现了晶圆级的二维材料生长,并且基于二维半导体集成工艺已经能够实现大部分硅基电路功能。这为原子操控制造芯片提供了坚实的材料基础,若能进一步将原子操控技术与二维材料的优势相结合,有望制造出运算速度更快、功耗更低的芯片。
同时,基于原子操控制造量子芯片的研究也在稳步推进。量子计算作为下一代计算技术的核心,其芯片制造对精度要求极高。西安交通大学团队与德国 PDI 研究所合作,利用扫描隧道显微镜在砷化铟表面构筑了多个全同性良好的人工量子点,这些量子点是构成固态量子芯片的基本单元。这种方法有望成为未来大规模耦合量子点阵列的重要制造方式,为量子芯片的产业化生产开辟道路。通过精准的原子操控,能够确保量子比特的高度相干性和稳定性,从而提升量子芯片的计算性能和可靠性,这对于推动量子计算从实验室走向实际应用具有关键意义。
展望未来,原子操控技术在芯片制造领域将展现出更为广阔的应用前景。在技术发展路径上,大科学装置的建设将成为关键驱动力。南京大学牵头的 “原子极限微制造实验设施” 计划通过高强度团簇束流源实现原子批量操控,其目标是将原子操控效率提升 5 个量级。该装置一旦建成,预计在 2030 年代能够实现晶圆级原子级抛光和近零损伤加工,为原子级制造芯片提供基础支撑。这一装置的突破将极大地推动原子操控技术从实验室走向工业化生产,使得大规模原子级制造芯片成为可能。
此外,跨学科协同创新将为原子操控制造芯片注入新的活力。原子级制造涉及物理、化学、材料科学、电子工程等多个学科领域,需要各学科的专家共同协作。例如,在制造过程中,需要物理学家深入理解原子间的相互作用和量子力学原理,以实现精准的原子操控;化学家则要研究原子团簇或分子的反应和组装规律,开发新型材料和工艺;材料科学家需设计和制备满足芯片性能要求的材料;电子工程师则负责将原子级制造的结构集成到芯片电路中。通过跨学科的深度融合,能够解决原子操控制造芯片过程中面临的诸多难题,如原子结构的稳定性、材料体系的复杂性以及原位检测与纠错等问题。
原子操控技术有望成为人类生产芯片的终极技术。尽管目前仍面临诸多挑战,如技术精度的进一步提升、规模化生产的实现以及跨学科协作的完善等,但随着研究的深入和技术的不断进步,这些难题将逐步得到解决。在未来,我们有理由期待原子操控技术引领芯片制造进入一个全新的时代,为信息技术的发展带来革命性的突破,推动人类社会迈向更加智能化、高效化的未来。