填补国内空白！绿菱气体溴化氢（HBr）新产线在经开区投产
天津北方网讯：近日，天津经开区企业天津绿菱气体股份有限公司（以下简称绿菱气体）年产1000吨溴化氢（HBr）合成生产线完成各项验收并正式投产，标志着绿菱气体在强腐蚀性电子特气领域的研发—制造—质控能力实现体系化突破，填补了国内高纯溴化氢（HBr）规模化生产的空白。
溴化氢（HBr）根据工业应用需求，纯度一般分为3N和5N级别。3N级溴化氢（HBr）气体可满足大部分工业化学合成和加工需求，在平衡纯度、成本与性能方面具有显著优势，是一种重要的基础化工原料。3N级溴化氢（HBr）通过进一步精馏工艺可得到5N电子级溴化氢（HBr）气体，电子级溴化氢（HBr）气体主要应用于半导体掺磷的N型多晶硅、掺磷的单晶硅或者二维半导体的蚀刻工艺，是目前国产化率较低的高端电子特气。
为“突破关键材料国产化瓶颈，构建自主可控产业链”，绿菱气体技术团队通过全流程自主创新，集成国际先进工艺与分析方法，攻克了超强腐蚀工况下的设备选型与工程设计、高效吸附纯化系统开发等核心技术难题，历时18个月建成国际领先水平的溴化氢（HBr）合成生产线并实现量产。
随着该产线的顺利投产，未来将满足市场对工业级3N溴化氢（HBr）的产品需求，推动电子特气产业向“高端化、安全化、低碳化”高质量发展迈进，显著提升了南港工业区在高端化学品领域的影响力和竞争力，扩充了南港京津电子化学品基地产品供应，同时对深入服务京津冀协同发展、促进京津冀集成电路产业发展、保障产业链安全稳定，助力京津冀集成电路产业高质量、健康发展都有重要作用。
据了解，绿菱气体是全球高纯电子特气的主要供应商之一，为国内外著名大型半导体芯片制造商供应产品和服务，自主研发的二十多种半导体制程气体材料成功填补国内空白并首次实现产品净进口转为出口，为全球唯一高纯氧硫化碳电子特气产品工业化生产供应商，产品市场占有率60%以上。 （津云新闻记者 霍艳华）